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微纳平台
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上海集成电路研发中心(ICCD)
国家级集成电路研发中心,建12寸开放式中试线和专业测试实验室
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院所中试
中山大学光电材料与技术国重实验室
聚焦纳米光子技术和发光显示材料,有半导体光电器件研究能力
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院所中试
武汉大学大型仪器设备开放共享网络平台
武汉大学校级平台,50万元及以上大型科学仪器全部入网,注册用户超3000人
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大仪共享
广西大学大型仪器设备共享平台
广西大学大型仪器设备共享平台,面向校内外用户提供测试服务,支持在线预约与计费
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大仪共享
国家网络管理平台
重大科研基础设施和大型科研仪器国家网络管理平台
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大仪共享
广东微纳院微纳加工平台(超净环境共享服务)
提供超净环境共享、工艺设备共享及半导体器件微纳加工工艺培训,立足佛山辐射粤港澳大湾区
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院所中试
中科院半导体所宽禁带半导体研发中心
拥有1500㎡超净工艺环境及完整III-V族化合物MOCVD...
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院所中试
中科院半导体所
下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力
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院所中试
自旋芯片与技术全国重点实验室(北京航空航天大学)
依托北航,围绕新型微电子器件与集成电路技术,设微纳科学与分析测试协同创新中心
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院所中试
专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)
依托复旦大学,面向集成电路设计与系统,开放运行
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院所中试
科学谷大型仪器分析测试平台
基于互联网的分析测试服务平台,整合仪器资源、人才资源与技术成果提供共享服务
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大仪共享
苏州市科技创新券服务平台
苏州市研发资源共享平台,含60967台大型仪器设备开放共享
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大仪共享
湖南大学大型仪器共享平台
校级大型仪器设备公共平台,含半导体和微纳加工相关设备
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大仪共享
江苏省科技资源统筹服务平台
江苏省大型仪器共享平台,含半导体相关设备
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大仪共享
浙江大学杭州科创中心大型仪器共享平台
含微纳加工和半导体表征设备,面向社会开放共享
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