流片管家

中科院半导体所建设的综合性半导体工艺技术加工平台，拥有1700㎡超净工艺线，面向所内外开放

华中地区最大IC科研单位之一，有完善数字/模拟电路设计平台和测试平台

聚焦化合物半导体和微纳器件研究，有微纳加工和测试能力

中科院下属半导体领域综合性研究机构，下辖光电子材料与器件、半导体芯片物理与技术等多个全国重点实验室

聚焦纳米光子技术和发光显示材料，有半导体光电器件研究能力

覆盖微纳加工、芯片设计、射频测试等全场景，面向校内外开放

依托复旦大学，面向集成电路设计与系统，开放运行

拥有1100㎡微纳加工平台，提供光刻、刻蚀、封装测试等全流程对外服务，仪器设备可共享

超净实验室1800㎡，各类设备200余台套，资产约3.5亿元，7天24小时开放服务

清华大学微纳加工中心

微纳加工测试仪器共享平台，近3000㎡实验场地，54台30万元以上设备，面向校内外开放

浙江大学大型仪器共享平台