流片管家

粤港澳大湾区高校中少数具备完整工艺能力的微纳芯片制造公共服务平台

含飞秒激光微纳加工系统等设备，面向校内外开放共享

洁净室近1200平方米，可完成8英寸芯片、30nm特征尺寸微纳加工

厦大最完备的微纳加工和测试平台，洁净室近1000㎡，可实现8英寸晶圆30nm特征尺寸加工

校级开放平台，配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备

含微纳加工中心，对接上海市研发公共服务平台和长三角科技资源

依托物理与电子科学学院，含百级和千级洁净空间，提供自主上机或...

校级大型仪器共享平台，提供超净间使用及大型仪器独立操作服务

纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放，提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式

基于互联网的分析测试服务平台，整合仪器资源、人才资源与技术成果提供共享服务

脱胎中科院半导体所，整合550+高校院所实验室资源，提供电镜检测、材料分析、微纳加工等一站式服务