上海奥麦达微电子(光刻)
提供6寸DUV/KrF光刻(180nm线宽)、电子束光刻、硅光/氮化硅/铌酸锂流片服务，面向高校科研小批量
排序
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心
综合性半导体工艺技术加工平台，1700平米超净工艺线，提供光...
南方科技大学微纳加工平台
微纳工艺研发平台，NanoBeam电子束曝光机/SUSS紫外曝光机/ALD/磁控溅射/ICP刻蚀/RIE/快速退火，面向科研服务
旭量光学
飞秒激光直写系统、UV直写光刻系统、光谱测量系统，提供系统选型、样品验证和工艺开发支持
深圳微纳电子科技有限公司
微纳代加工服务(光刻/热氧化/离子注入/镀膜沉积/刻蚀/晶圆键合/CMP/快速退火)，电子束光刻最小50nm，步进式光刻350nm，接触式光刻1um
烟台魔技纳米科技有限公司
超快激光微纳加工、无掩膜光刻、三维微纳加工/纳米3D打印代工服务，面向生物医学/微纳光学/光电通信等多领域
上海芯津半导体有限公司
提供半导体材料、电子及信息技术领域技术咨询与科技服务，面向科研用户
上海羿淳科技(刻蚀代工)
提供干法刻蚀(ICP/RIE)、湿法腐蚀等刻蚀代工服务，面向高校科研小批量MEMS器件加工
北京三和联科技有限公司
国产等离子体刻蚀设备与PECVD系统自研厂商，科研级PECVD/刻蚀设备，服务高校科研
广东芯微精密半导体设备有限公司
提供晶圆级电镀、清洗及TGV刻蚀加工服务，覆盖6/8/12寸晶圆
广东工业大学微纳加工平台
半导体微纳加工研发及服务平台，配备光刻机/电子束曝光机/电镜，覆盖光刻/镀膜/刻蚀/扩散/测试全流程，支持10nm以下芯片制备
极智芯(北京)科技有限公司
提供RIE/ICP/IBE刻蚀设备及工艺代工，PECVD薄膜沉积，服务高校科研
深圳微纳电子(刻蚀代工)
提供干法刻蚀(ICP/RIE)、湿法刻蚀等刻蚀代工服务，面向高校科研小批量
芯智联半导体(上海)有限公司
一站式微纳加工代工，涵盖光刻/刻蚀/镀膜/键合/外延/切割/电镀/封装全流程，支持高校科研小批量
苏州佳尔敏微纳科技有限公司(苏州博研)
提供IBE/DRIE/RIE/ICP/FIB等多种刻蚀代工及镀膜、光刻等微纳加工服务