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中科院苏州纳米所公共技术服务中心
纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放,提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式
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院所中试
上海微技术工业研究院(SITRI)
全国首条8英寸超越摩尔研发中试线,提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务
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院所中试
中国电科十三所(产业基础研究院)
半导体核心电子器件骨干研究单位,从材料到封装全链条,有中试能力
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院所中试
中科院半导体所
下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力
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院所中试
中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心
2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台,1700㎡超净...
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大仪共享
微纳平台
上海集成电路研发中心(ICCD)
国家级集成电路研发中心,建12寸开放式中试线和专业测试实验室
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院所中试
中科院半导体所宽禁带半导体研发中心
拥有1500㎡超净工艺环境及完整III-V族化合物MOCVD...
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微纳平台
院所中试
中科院半导体所科研部门
含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
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微纳平台
院所中试
九峰山实验室
化合物半导体研发创新中心,提供工艺开发、中试验证和检测分析服...
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形貌表征
微纳平台
光电子材料与器件全国重点实验室
依托中科院半导体所,覆盖InP/GaAs/GaSb/硅基等材...
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微纳平台
院所中试
国家芯火双创(上海)基地
工信部批准建设的集成电路双创基地,提供MPW服务和IP设计支持
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院所中试
广东中科半导体微纳制造技术研究院(广东微纳院)
佛山市政府与中科院苏州纳米所共建,8英寸中试线月产5000片,累计服务超300家客户
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院所中试
广东微纳院微纳加工中试平台
超净实验室约14000㎡,面向化合物芯片/MEMS/光电子器件提供8英寸中试代工服务
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院所中试
国家第三代半导体技术创新中心(苏州)
聚焦第三代半导体技术,提供研发到中试全链条服务
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院所中试
浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院
聚焦宽禁带半导体材料与器件,杨德仁院士担任首席科学家,涵盖材料生长、功率芯片、封装测试全链
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院所中试
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