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    微纳平台

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    高校微纳院所中试大仪共享
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    中科院苏州纳米所公共技术服务中心

    中科院苏州纳米所公共技术服务中心

    纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放,提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式
    250
    院所中试
    上海微技术工业研究院(SITRI)

    上海微技术工业研究院(SITRI)

    全国首条8英寸超越摩尔研发中试线,提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务
    300
    院所中试
    中国电科十三所(产业基础研究院)

    中国电科十三所(产业基础研究院)

    半导体核心电子器件骨干研究单位,从材料到封装全链条,有中试能力
    230
    院所中试
    中科院半导体所

    中科院半导体所

    下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力
    210
    院所中试
    中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

    中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

    2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台,1700㎡超净...
    260
    大仪共享微纳平台
    上海集成电路研发中心(ICCD)

    上海集成电路研发中心(ICCD)

    国家级集成电路研发中心,建12寸开放式中试线和专业测试实验室
    210
    院所中试
    中科院半导体所宽禁带半导体研发中心

    中科院半导体所宽禁带半导体研发中心

    拥有1500㎡超净工艺环境及完整III-V族化合物MOCVD...
    210
    微纳平台院所中试
    中科院半导体所科研部门

    中科院半导体所科研部门

    含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
    230
    微纳平台院所中试
    九峰山实验室

    九峰山实验室

    化合物半导体研发创新中心,提供工艺开发、中试验证和检测分析服...
    270
    形貌表征微纳平台
    光电子材料与器件全国重点实验室

    光电子材料与器件全国重点实验室

    依托中科院半导体所,覆盖InP/GaAs/GaSb/硅基等材...
    230
    微纳平台院所中试
    国家芯火双创(上海)基地

    国家芯火双创(上海)基地

    工信部批准建设的集成电路双创基地,提供MPW服务和IP设计支持
    190
    院所中试
    广东中科半导体微纳制造技术研究院(广东微纳院)

    广东中科半导体微纳制造技术研究院(广东微纳院)

    佛山市政府与中科院苏州纳米所共建,8英寸中试线月产5000片,累计服务超300家客户
    250
    院所中试
    广东微纳院微纳加工中试平台

    广东微纳院微纳加工中试平台

    超净实验室约14000㎡,面向化合物芯片/MEMS/光电子器件提供8英寸中试代工服务
    260
    院所中试
    国家第三代半导体技术创新中心(苏州)

    国家第三代半导体技术创新中心(苏州)

    聚焦第三代半导体技术,提供研发到中试全链条服务
    190
    院所中试
    浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院

    浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院

    聚焦宽禁带半导体材料与器件,杨德仁院士担任首席科学家,涵盖材料生长、功率芯片、封装测试全链
    230
    院所中试
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