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    院所中试

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    高校微纳院所中试大仪共享
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    宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)

    宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)

    建有宽禁带半导体超净工艺研发线,可满足化合物半导体器件制备
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    院所中试
    陕西光电子先导院

    陕西光电子先导院

    化合物半导体外延片中试平台,提供工艺开发和中试验证服务
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    微纳平台特色工艺
    广东微纳院微纳加工中试平台

    广东微纳院微纳加工中试平台

    超净实验室约14000㎡,面向化合物芯片/MEMS/光电子器件提供8英寸中试代工服务
    740
    院所中试
    中国科学院半导体研究所

    中国科学院半导体研究所

    中科院下属半导体领域综合性研究机构,下辖光电子材料与器件、半导体芯片物理与技术等多个全国重点实验室
    730
    院所中试
    湖北星辰技术中试平台

    湖北星辰技术中试平台

    高密度集成封装中试平台,面向AI算力芯片提供先进封装服务
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    院所中试
    九峰山实验室

    九峰山实验室

    化合物半导体研发创新中心,提供工艺开发、中试验证和检测分析服...
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    形貌表征微纳平台
    专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)

    专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)

    依托复旦大学,面向集成电路设计与系统,开放运行
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    院所中试
    固体微结构物理国家重点实验室(南京大学)

    固体微结构物理国家重点实验室(南京大学)

    国家首批投资建设的国重之一,聚焦微结构材料设计与量子调控,连续6次评估优秀
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    院所中试
    中科院半导体所宽禁带半导体研发中心

    中科院半导体所宽禁带半导体研发中心

    拥有1500㎡超净工艺环境及完整III-V族化合物MOCVD...
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    微纳平台院所中试
    集成光电子学国家重点实验室(吉林大学实验区)

    集成光电子学国家重点实验室(吉林大学实验区)

    吉林大学与中科院半导体所联合组成,1991年正式对外开放,连续三次获评优秀实验室
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    院所中试
    中北大学电子测试技术国家重点实验室

    中北大学电子测试技术国家重点实验室

    拥有1100㎡微纳加工平台,提供光刻、刻蚀、封装测试等全流程对外服务,仪器设备可共享
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    院所中试
    中国科学院上海微系统与信息技术研究所

    中国科学院上海微系统与信息技术研究所

    研制成功国内第一颗基于SOI材料的0.13um工艺大规模高可靠专用集成电路ASIC芯片,应用于北斗导航卫星等国家关键工程,为我国航天核心元器件的自主可控奠定坚实基础。
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    院所中试# 中国科学院上海微系统与信息技术研究所# 微电子# 微电子机械系统
    广东中科半导体微纳制造技术研究院(广东微纳院)

    广东中科半导体微纳制造技术研究院(广东微纳院)

    佛山市政府与中科院苏州纳米所共建,8英寸中试线月产5000片,累计服务超300家客户
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    院所中试
    高功率半导体激光国家重点实验室

    高功率半导体激光国家重点实验室

    高功率半导体激光国家重点实验室-长春理工大学
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    院所中试
    集成电路与微系统全国重点实验室

    集成电路与微系统全国重点实验室

    中国电科旗下,聚焦集成电路与微系统,发布开放基金课题
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