流片管家

掩膜版定制加工

光刻版制作与图形化服务

0.13μm及以上高端集成电路掩模生产，高新技术企业

金属掩膜版(不锈钢/钽片)激光切割定制，最小10um精度，掩...

光掩膜版及镀铬掩膜版/金属掩膜版设计制作销售，微电子产品及光掩膜技术周边服务

提供IBE/DRIE/RIE/ICP/FIB等多种刻蚀代工及镀膜、光刻等微纳加工服务

提供光刻/刻蚀/镀膜等MEMS微纳加工服务，面向高校科研小批量

一站式微纳加工代工，涵盖光刻/刻蚀/镀膜/键合/外延/切割/电镀/封装全流程，支持高校科研小批量

提供RIE/ICP/IBE刻蚀设备及工艺代工，PECVD薄膜沉积，服务高校科研

提供干法刻蚀(ICP/RIE)、湿法刻蚀等刻蚀代工服务，面向高校科研小批量

半导体微纳加工研发及服务平台，配备光刻机/电子束曝光机/电镜，覆盖光刻/镀膜/刻蚀/扩散/测试全流程，支持10nm以下芯片制备

提供晶圆级电镀、清洗及TGV刻蚀加工服务，覆盖6/8/12寸晶圆