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    微纳平台

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    中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

    中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

    2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台,1700㎡超净...
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    大仪共享微纳平台
    上海集成电路研发中心(ICCD)

    上海集成电路研发中心(ICCD)

    国家级集成电路研发中心,建12寸开放式中试线和专业测试实验室
    790
    院所中试
    自旋芯片与技术全国重点实验室(北京航空航天大学)

    自旋芯片与技术全国重点实验室(北京航空航天大学)

    依托北航,围绕新型微电子器件与集成电路技术,设微纳科学与分析测试协同创新中心
    780
    院所中试
    宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)

    宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)

    建有宽禁带半导体超净工艺研发线,可满足化合物半导体器件制备
    750
    院所中试
    陕西光电子先导院

    陕西光电子先导院

    化合物半导体外延片中试平台,提供工艺开发和中试验证服务
    740
    微纳平台特色工艺
    广东微纳院微纳加工中试平台

    广东微纳院微纳加工中试平台

    超净实验室约14000㎡,面向化合物芯片/MEMS/光电子器件提供8英寸中试代工服务
    740
    院所中试
    中国科学院半导体研究所

    中国科学院半导体研究所

    中科院下属半导体领域综合性研究机构,下辖光电子材料与器件、半导体芯片物理与技术等多个全国重点实验室
    730
    院所中试
    中国科技资源共享网

    中国科技资源共享网

    国家级科技资源门户,整合大型仪器、科学数据等共享资源
    730
    大仪共享
    湖北星辰技术中试平台

    湖北星辰技术中试平台

    高密度集成封装中试平台,面向AI算力芯片提供先进封装服务
    710
    院所中试
    九峰山实验室

    九峰山实验室

    化合物半导体研发创新中心,提供工艺开发、中试验证和检测分析服...
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    形貌表征微纳平台
    专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)

    专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)

    依托复旦大学,面向集成电路设计与系统,开放运行
    700
    院所中试
    苏州市科技创新券服务平台

    苏州市科技创新券服务平台

    苏州市研发资源共享平台,含60967台大型仪器设备开放共享
    700
    大仪共享
    四川省分析测试服务中心

    四川省分析测试服务中心

    四川省大型科学仪器共享平台的运营方,提供分析测试与仪器共享服务
    700
    大仪共享
    固体微结构物理国家重点实验室(南京大学)

    固体微结构物理国家重点实验室(南京大学)

    国家首批投资建设的国重之一,聚焦微结构材料设计与量子调控,连续6次评估优秀
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    院所中试
    集成光电子学国家重点实验室(吉林大学实验区)

    集成光电子学国家重点实验室(吉林大学实验区)

    吉林大学与中科院半导体所联合组成,1991年正式对外开放,连续三次获评优秀实验室
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    院所中试
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