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中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心
2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台,1700㎡超净...
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大仪共享
微纳平台
上海集成电路研发中心(ICCD)
国家级集成电路研发中心,建12寸开放式中试线和专业测试实验室
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院所中试
自旋芯片与技术全国重点实验室(北京航空航天大学)
依托北航,围绕新型微电子器件与集成电路技术,设微纳科学与分析测试协同创新中心
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院所中试
宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)
建有宽禁带半导体超净工艺研发线,可满足化合物半导体器件制备
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院所中试
陕西光电子先导院
化合物半导体外延片中试平台,提供工艺开发和中试验证服务
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微纳平台
特色工艺
广东微纳院微纳加工中试平台
超净实验室约14000㎡,面向化合物芯片/MEMS/光电子器件提供8英寸中试代工服务
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院所中试
中国科学院半导体研究所
中科院下属半导体领域综合性研究机构,下辖光电子材料与器件、半导体芯片物理与技术等多个全国重点实验室
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院所中试
中国科技资源共享网
国家级科技资源门户,整合大型仪器、科学数据等共享资源
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大仪共享
湖北星辰技术中试平台
高密度集成封装中试平台,面向AI算力芯片提供先进封装服务
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院所中试
九峰山实验室
化合物半导体研发创新中心,提供工艺开发、中试验证和检测分析服...
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形貌表征
微纳平台
专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)
依托复旦大学,面向集成电路设计与系统,开放运行
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院所中试
苏州市科技创新券服务平台
苏州市研发资源共享平台,含60967台大型仪器设备开放共享
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大仪共享
四川省分析测试服务中心
四川省大型科学仪器共享平台的运营方,提供分析测试与仪器共享服务
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大仪共享
固体微结构物理国家重点实验室(南京大学)
国家首批投资建设的国重之一,聚焦微结构材料设计与量子调控,连续6次评估优秀
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院所中试
集成光电子学国家重点实验室(吉林大学实验区)
吉林大学与中科院半导体所联合组成,1991年正式对外开放,连续三次获评优秀实验室
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院所中试
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