专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)
依托复旦大学，面向集成电路设计与系统，开放运行
排序
中北大学电子测试技术国家重点实验室
拥有1100㎡微纳加工平台，提供光刻、刻蚀、封装测试等全流程对外服务，仪器设备可共享
清华大学信息国家研究中心微纳加工平台
超净实验室1800㎡，各类设备200余台套，资产约3.5亿元，7天24小时开放服务
清华大学微纳加工中心
清华大学微纳加工中心
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
微纳加工测试仪器共享平台，近3000㎡实验场地，54台30万元以上设备，面向校内外开放
深圳技术大学半导体微纳加工中心
粤港澳大湾区高校中少数具备完整工艺能力的微纳芯片制造公共服务平台
浙江大学大型仪器共享平台
浙江大学大型仪器共享平台
厦门大学微纳加工测试公共服务支撑平台
厦大最完备的微纳加工和测试平台，洁净室近1000㎡，可实现8英寸晶圆30nm特征尺寸加工
南京邮电大学大型仪器共享平台
含飞秒激光微纳加工系统等设备，面向校内外开放共享
厦门大学微纳加工测试仪器共享平台
洁净室近1200平方米，可完成8英寸芯片、30nm特征尺寸微纳加工
华东师范大学微纳加工中心
依托物理与电子科学学院，含百级和千级洁净空间，提供自主上机或...
北京大学微纳加工实验室
校级开放平台，配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备
华东师大公共创新服务平台
含微纳加工中心，对接上海市研发公共服务平台和长三角科技资源
中南大学微纳加工与器件制造平台
校级大型仪器共享平台，提供超净间使用及大型仪器独立操作服务
中科院苏州纳米所公共技术服务中心
纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放，提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式